ふるさと半導体製造装置大手の東京エレクトロンの子会社である東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ（山梨県韮崎市）は２１日、穂坂事業所（同）で６番目となる開発棟が竣工したと発表し、報道陣に公開した。
人工知能（ＡＩ）の普及など、デジタル社会への移行によって、半導体の需要が多様化するとみており、同事業所としては２５年ぶりとなる開発棟新設で、半導体技術の高度化に対応する狙いだ。
新開発棟は１３０億円を投じた。
地上４階、地下１階の免震構造で延べ床面積は２万１０００平方メートル。
半導体用のウエハーに膜をつける成膜装置などの最新半導体製造装置の開発を担当する。
新棟はこれまでよりも大型の半導体製造装置の開発ができるように、天井を高くしたほか、同時に２５台を開発できるようなスペースを確保した。
人工知能（ＡＩ）の普及など、デジタル社会への移行によって、半導体の需要が多様化するとみており、同事業所としては２５年ぶりとなる開発棟新設で、半導体技術の高度化に対応する狙いだ。
新開発棟は１３０億円を投じた。
地上４階、地下１階の免震構造で延べ床面積は２万１０００平方メートル。
半導体用のウエハーに膜をつける成膜装置などの最新半導体製造装置の開発を担当する。
新棟はこれまでよりも大型の半導体製造装置の開発ができるように、天井を高くしたほか、同時に２５台を開発できるようなスペースを確保した。
